本文研究了基于T公司生产的某型号正性光阻, 采用错位叠加紫外曝光工艺, 实现灰阶曝光效果的方法, 最终得到具有特定角度的楔形斜面结构。光阻在进行紫外感光前后, 对紫外光的吸收系数α会发生变化, 根据朗伯比尔定律(Lambert-Beer law), 将楔形斜面结构等效成台阶状结构, 并通过实验计算出使该光阻发生光解反应的临界曝光能量I、光阻感光前后的吸收系数α和α′, 并进一步根据等效模型结构得到错位叠加曝光过程中每步曝光所需能量大小。实验结果表明, 使光阻进行分解反应的临界曝光能量I约为8 mJ, 对紫外光的吸收系数α约为1.14。经过紫外感光后, 光阻对紫外光的吸收系数α′降为原来20%, 进一步根据计算得到的曝光能量进行实验, 最终制作出所需的斜角为32°的楔形结构。错位叠加曝光的方法可以得到具有特定角度的楔形斜面微结构, 而且该过程所需的曝光条件可以根据楔形角度进行计算。

介绍了光刻法石墨烯的制备方法, 分析了光刻工艺过后石墨烯方阻升高的不良机理, 并给出了相应的优化方案。首先, 根据半导体工艺研发制程完成石墨烯图案化工艺方案, 并对工艺方案进行有效优化。接着, 分析了石墨烯光刻法图案化后方阻升高的机理。最后, 通过改善工艺方案, 增加金属湿法刻蚀的步骤, 解决石墨烯方阻升高的问题。实验结果表明: 通过光刻法制得的石墨烯具有更高的图案精细度, 关键尺寸可达到5 μm。双层石墨烯膜的方阻在光刻法图案化后, 通过工艺改善可以保持原始膜最初阻值约330 Ω/□, 甚至可以降低到270 Ω/□左右。光刻法图案化石墨烯技术, 既能保证石墨烯图案尺寸精度, 又可以保持甚至降低石墨烯方阻值, 适合于量产开发。

将手机的互补金属氧化物半导体摄像头作为可见光通信链路的接收端时，互补金属氧化物半导体的晕染效应会降低摄像头获得的数据帧的消光比，背景光和互补金属氧化物半导体热噪声还会使数据帧的识别率降低。针对上述问题，提出了利用高低帽变换和极大值抑制的优化数据帧的方法，该方法提高了数据帧的消光比并且抑制了局部噪声，得到易于解码的数据帧。但上述优化算法耗时长，为了将算法移植到手机中使用，采用了耗时短的局部加权回归散点平滑信号识别方法对数据帧进行处理。结果表明，局部加权回归散点平滑算法受局部噪声影响较小，与前人采用的算法相比可以获得最佳信噪比。

CMOS图像传感器具有功耗低、尺寸小, 以及价格便宜等优点, 目前已被广泛应用于智能手机中。采用CMOS图像传感器作为可见光通信的接收装置, 有利于技术的推广和实用化。文章首先介绍了采用CMOS传感器作为可见光通信接收机的原理, 接着针对当前国内外研究中存在的问题提出了信号增强算法, 最后验证了算法的可行性和适用性, 并由此提出了一套光ID信息服务系统模型。

可见光通信作为当前无线光通信领域的研究热门, 在过去几年取得了可喜的突破。采用白光LED作为光源, 利用灯光高速明暗闪烁来传递信息的同时兼顾其在室内照明的功能, 节约了能源。文章详细介绍了白光LED可见光通信的研究现状、关键技术、应用场景和发展趋势。

A tunable surface-emitting integrated lighting system is constructed using a combination of inorganic light-emitting diodes (LEDs) and transparent organic LEDs (OLEDs). An RB two-color LED is used to supply red and blue light emission, and a green organic LED is used to supply green light emission. Currents of the LED and OLED are tuned to produce a white color, showing different Commission Internationale d’Eclairage (CIE) chromaticity coordinates and correlated color temperatures with a wide adjustable range. Such an integration can compensate for the lack of the LED’s luminance uniformity and the transparent OLED’s luminance intensity.

对煅硼砂饮片进行质量评价。 以18个不同含水量的煅硼砂样品为研究对象, 使用傅里叶红外光谱仪采集样品的红外吸收图谱, 并对红外图谱进行分析, 再根据分析结果对煅硼砂饮片进行质量评价。 发现煅硼砂的红外光谱主要包括OH、 BO3-3和BO5-4振动引起的三个吸收带, OH振动吸收带的位置及宽度依赖于含水量的高低, 含水量越高, 吸收带越宽； BO3-3及BO5-4振动吸收带的数目也取决于含水量的高低, 含水量越高, 氢键作用越强, B原子的对称性越低, 红外吸收峰数目越多。 结论: 因含水量与煅硼砂样品的质量直接相关, 故红外光谱法可为煅硼砂的质量分析与评价研究提供一种灵敏、 客观的方法和手段。

为了研究NH3气体在紫外203～220 nm内吸收截面随温度的变化规律, 采用高分辨率光栅单色仪、 氘灯光源、 闭式气样室和配气装置, 测量NH3气体温度由308 K升高至397 K的吸收截面。 NH3气体吸收截面由离散吸收和连续吸收两部分组成。 结果表明, 随着温度的升高, 基态剩余量子旋转、 振动迁移到激发态的概率减少, 最终导致离散吸收截面峰值的降低。 随着温度由308 K升高至397 K, 在特征波长212.5 nm处, 离散吸收截面峰值的最大相对减幅为46%。 NH3气体在这个波段的吸收截面存在明显的等波长间隔分布特征, 约为4 nm。 随着温度升高, 峰值位置未见变化。 连续吸收截面整体上随温度升高而减小, 且这种减小趋势随波长红移逐渐减弱。 由于NH3气体吸收截面随温度的变化呈现较大的变化, 实测时应对气体浓度在线测量结果进行温度补偿计算。